DIN 50452-1-1995 半导体工艺用材料的检验.液体中粒子分析的试验方法.第1部分:粒子的显微镜测定
作者:标准资料网
时间:2024-05-17 17:10:22
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【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Testmethodforparticleanalysisinliquids-Part1:Microscopicdeterminationofparticles
【原文标准名称】:半导体工艺用材料的检验.液体中粒子分析的试验方法.第1部分:粒子的显微镜测定
【标准号】:DIN50452-1-1995
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:1995-11
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:材料试验;液体;试验;半导体材料;材料;粒子分析;粒状物;粒子浓度;含量测定;显微分析;颗粒;定义;半导体工艺
【英文主题词】:particles;materialstesting;particulatematter;testing;determinationofcontent;liquids;definition;concentrationofparticles;semiconductormaterials;particleanalysis;definitions;semiconductortechno
【摘要】:Thismethodcoverthedeterminationoftheconcentrationofparticulatemattercontaminationfromliquidsisolatedonamembranefilterbymicroscopiccounting.Thescopeislimitedtosizingparticlesof5?andmore.
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:4P;A4
【正文语种】:德语
【原文标准名称】:半导体工艺用材料的检验.液体中粒子分析的试验方法.第1部分:粒子的显微镜测定
【标准号】:DIN50452-1-1995
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:1995-11
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:材料试验;液体;试验;半导体材料;材料;粒子分析;粒状物;粒子浓度;含量测定;显微分析;颗粒;定义;半导体工艺
【英文主题词】:particles;materialstesting;particulatematter;testing;determinationofcontent;liquids;definition;concentrationofparticles;semiconductormaterials;particleanalysis;definitions;semiconductortechno
【摘要】:Thismethodcoverthedeterminationoftheconcentrationofparticulatemattercontaminationfromliquidsisolatedonamembranefilterbymicroscopiccounting.Thescopeislimitedtosizingparticlesof5?andmore.
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:4P;A4
【正文语种】:德语
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